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Elektronenstrahl-Lithographisystem
- Auftraggeber
- Silicon Austria Labs GmbHÖsterreich
- Veröffentlicht
- zuletzt geprüft 17.09.2026, 04:27
- Angebotsfrist
- Nicht veröffentlichtlaut amtlicher Bekanntmachung
Leistungsgegenstand
Worum geht es?
Die Elektronenstrahllithografie (EBL) ist eine Fertigungstechnik, bei der mittels fokussiertem Elektronenstrahl individuelle Muster bis in den Nanometerbereich auf Oberflächen gezeichnet werden, die mit einem elektronenempfindlichen Resist beschichtet sind. Ziel der Beschaffung ist, die derzeit vorhandenen Photolithographie-Werkzeuge, um ein hochspezialisiertes EBL-Instrument zu erweitern, um die Auflösung um zwei Größenordnungen zu verbessern.
- Labor- und Präzisionsgeräte38000000
Zeit & Verfahren
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2022
- Abgabe
- —
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren ohne Bekanntmachung · Lieferung
- Erfüllungsort
- Nicht strukturiert veröffentlicht
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